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¡horrible! Inadvertidamente, los productos de limpieza de plasma se están ensuciando y ensuciando.
Oct 18, 2018

El equipo de limpieza por plasma al vacío se usa ampliamente en electrónica de precisión, semiconductores, materiales poliméricos, etc., pero si el equipo no se opera adecuadamente, puede causar una contaminación secundaria del producto y pérdidas económicas. Los socios pequeños de P LAUX utilizan los siguientes casos para recordar a todos, solo como referencia:

1. Problema: un cliente informó que el producto estaba contaminado por aceite en el uso de equipos de limpieza por plasma al vacío, y este problema no ocurrió en el mismo equipo.

2. Análisis de la causa: De acuerdo con la información proporcionada por el operador del equipo del cliente y la inspección del equipo P LAUX en el sitio, se encuentra que el producto de vacío en el interior está contaminado porque el equipo está alarmado y el equipo no se opera adecuadamente, por lo que Se aspira algo de petróleo y gas generado por la bomba de vacío. La sala de vacío está aquí.

3. Descripción específica: el equipo de limpieza de plasma por vacío generalmente se opera en el estado de espera, principalmente a través de la apertura y cierre de la válvula de aleta neumática de alto vacío (válvula de deflector) para realizar la función de vacío de la cámara de vacío. Durante el funcionamiento del equipo, si hay una falla de cuenta regresiva de la bomba de vacío, falla de sobrecarga térmica de la bomba de vacío, desviación de la fuente de alimentación y reflexión excesiva, el equipo se detendrá automáticamente (incluida la bomba de vacío) para proteger las partes críticas del equipo. del daño.

Una vez que se detiene la alarma del equipo, la válvula de aleta neumática de alto vacío también se cierra naturalmente, pero la cámara de vacío aún se encuentra en un estado de alto vacío. Por ejemplo, después de que el equipo tiene un tiempo de inactividad, el operador no realiza la interrupción del vacío ni la apertura de la bomba de vacío de acuerdo con las especificaciones de uso, sino que hace clic directamente en el botón de inicio de la interfaz automática, luego se activa la válvula de aleta neumática de alto vacío. Procesado en la cámara de vacío. En un estado de alto vacío, el alto vacío al extremo de la bomba de vacío se encuentra en un estado de presión normal. En este momento, después de que se abra la válvula de aleta neumática de alto vacío, si hay aceite y gas residual en el extremo de la bomba de vacío, el aceite y el gas serán aspirados a la cámara de vacío por la presión negativa en la cámara de vacío, causando la contaminación de El producto de la cámara de vacío.

4, la solución:

4-1 Especificación del funcionamiento del usuario del equipo de limpieza por plasma.

Cuando el equipo está alarmado, detenga la operación de vacío y confirme si la bomba de vacío está parada debido a la alarma; Si la bomba de vacío se detiene, la bomba de vacío se debe encender antes de continuar utilizando el equipo.

4-2 Aumentar la función de bloqueo del circuito de control

Además del uso del operador, teniendo en cuenta la movilidad del personal y la ejecución de las especificaciones operativas, P LAUX también considera la optimización simple y efectiva del control del equipo, aumentando el inicio de la bomba de vacío y el inicio de la bomba de vacío. válvula de aleta de alto vacío. La función de enclavamiento garantiza que la válvula de aleta neumática de alto vacío no pueda iniciarse cuando la bomba de vacío no está abierta, para evitar que la cámara de vacío regrese debido a un funcionamiento incorrecto.

4-3 Introducción específica del programa.

En condiciones normales, la bomba de vacío y la válvula de aleta neumática de alto vacío se controlan independientemente, como se muestra en la siguiente figura: El segundo relé intermedio (K1) desde la izquierda realiza el control de la bomba de vacío, desde la izquierda hasta la séptima. El relé intermedio (K7) realiza el control de la válvula de aleta neumática de alto vacío, y ambos reciben la señal y el relé intermedio correspondiente tira para realizar el control de la carga.

Intermediate relay

Para garantizar que la cámara de vacío no inhale el aceite y el gas debido a un mal funcionamiento, es necesario asegurarse de que las líneas de control de aletas neumáticas de alto vacío K7 k7 y L7 no estén energizadas en el estado de no funcionamiento. En este caso, la línea L7 en el control electrónico se desplaza. Conecte al otro extremo del otro contacto normalmente abierto en K1 y conecte un cable desde el otro extremo al cableado de la línea L7 original en K7. De esta manera, se realiza el enclavamiento entre la bomba de vacío y la válvula de aleta neumática de alto vacío, y la válvula de aleta neumática de alto vacío no se puede abrir en un estado en el que la bomba de vacío no funciona. Como se muestra abajo:

Intermediate relay-2

La línea azul en el gráfico indica que el L7 original está girado hasta el final del contacto normalmente abierto de K1, y la línea roja indica la línea recién agregada.

El método anterior es la forma más simple y efectiva de prevenir y modificar. La operación es simple, segura y confiable. Sin embargo, para garantizar la calidad del producto, es necesario estandarizar las especificaciones de operación de los usuarios del equipo de limpieza por plasma. Cuando el equipo falla, debe ingresar a la interfaz manual para romper. Acción de vacío, si el equipo tiene un tiempo de inactividad prolongado y el producto ha estado en la cámara de vacío a alto vacío, también afectará al producto.

¿Cuál es la inspiración para el análisis de este caso? Preguntas y soluciones similares son bienvenidas para compartir su mensaje y compartir con nosotros.


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