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Generador de Plasma de baja presión
Mar 30, 2018

Un dispositivo de descarga de gas baja presión generalmente se compone de tres partes: sistema para producir plasma de suministro de una fuente de alimentación, una cámara de descarga, un sistema de vacío y un trabajo de gas (o gas de reacción). Por lo general hay cuatro categorías: estática descarga dispositivos (Fig. 5), alta dispositivos de descarga de corona de tensión (Fig. 5 B), alta frecuencia (RF) descarga dispositivos (3 tipos, fig. 5 c) y microondas descargan dispositivos (Fig. 5 d). La superficie sólida tratada o la superficie del sustrato que requiere la capa de película polimérica se coloca en el ambiente de descarga y tratamiento por plasma.  Porque el plasma de baja presión es un plasma frío, cuando la presión del aire es aproximadamente 133 ~ 13.3, la temperatura del electrón es de hasta 10000, y la temperatura del gas es de sólo 300 abierta, que no queme el sustrato y tiene energía suficiente para el tratamiento superficial. Generadores de plasma de baja presión son ampliamente utilizados en la polimerización del plasma, preparación de las películas, grabado, limpieza y otros procesos de tratamiento superficial. Ejemplos de éxito tales como: en el proceso de fabricación de semiconductores, el uso de flúor-Lyon plasma seco y corrosión, ion de la galjanoplastia en la superficie del metal de la formación de la película de nitruro de titanio. Desde la 70 's plasma de baja presión se ha desarrollado rápidamente para tratamiento de superficies y la modificación de sólidos no metálicos como textiles, plásticos, vidrio, etcetera.


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