Máquina de limpieza de obleas

Máquina de limpieza de obleas

Descripción de la máquina de limpieza de obleas Nombre del equipo: Cartucho Equipo de procesamiento de plasma Modelo: VPC-500T Peso de la máquina: aproximadamente 350 KG Potencia nominal: máquina de limpieza de obleas 4K Fuente de alimentación: AC-380V / trifásico de cinco hilos Especificaciones: 950 mm (W) × 1030mm (D) × 1720mm (H) Cámara de vacío ...

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Descripción de la máquina de limpieza de obleas

Nombre del equipo: equipo de procesamiento de plasma de cartucho

Modelo de equipo: VPC-500T

Peso de la máquina: alrededor de 350 kg

Potencia nominal: 4KW

fuente de alimentación de la máquina de limpieza de la oblea: AC-380V / trifásico de cinco hilos

Especificaciones: 950 mm (W) × 1030 mm (D) × 1720 mm (H)

Especificación de la cámara de vacío: 480 mm (W) × 450 mm (D) × 400 mm (H) de aluminio importado

Capacidad: 2 cartuchos individuales procesados a la vez

Tiempo de procesamiento: proceso diferente, diferente tiempo de procesamiento

Potencia del generador de plasma: RF 13.56MH z, 0-500W ajustable

Sistema de Bomba de Vacío: Bomba de Vacío Mecánica

Sistema de medición de vacío: Indicador de resistencia Pirani

Grado de vacío de trabajo: 5-60Pa

Presión límite de la bomba de vacío: 4.0 × 10-1Pa

Tiempo de vacío: ≤100S

Tiempo de ruptura de vacío: 20-60S

Método de suministro de gas: tipo de válvula de solenoide

Rango de ajuste del medidor de flujo: 0-300Sccm (ml / min)

Rango de flujo de gas: 0-50 Sccm (ml / min)

Sistema de monitoreo de la presión de entrada: medidor de flujo másico preciso

Método de operación: tomar y colocar manualmente la pieza de trabajo, iniciar el control automático con una tecla

Uso de la máquina de limpieza de obleas:

Se usan diferentes combinaciones para diferentes procesos de fabricación. Se utilizan exclusivamente en la limpieza previa de Diebond, la limpieza previa de moldes, la limpieza de superficies de Wafer y otros procesos en el campo de los semiconductores.


Compañía de la máquina de limpieza de obleas:

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Paquete de máquina de limpieza de obleas:

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