Envasado a nivel de wafer

Descripción del embalaje del nivel de obleas Nombre del equipo: Equipo de procesamiento de plasma Modelo de equipo: PR160L Peso de la máquina: aproximadamente 500 KG Potencia nominal: 4 KW nivel de oblea de empaquetado Fuente de alimentación: AC-380V / trifásico de cinco hilos Las especificaciones generales: 1450 mm (W) × 1200 mm (D) × 1720mm (H) Cámara de vacío ...

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Descripción del empaque al nivel de la oblea

Nombre del equipo: Equipo de procesamiento de plasma

Modelo de equipo: PR160L

Peso de la máquina: alrededor de 500 kg

Potencia nominal: 4KW

Fuente de alimentación de embalaje a nivel de obleas: AC-380V / trifásico de cinco hilos

Las especificaciones generales: 1450 mm (W) × 1200 mm (D) × 1720 mm (H)

Especificaciones de la cámara de vacío: 600 mm (W) × 600 mm (D) × 600 mm (H) de aluminio importado

Especificaciones de la placa del electrodo: 570 mm (W) × 490 mm (D), 10 capas, espaciado entre placas: 60 mm, se puede diseñar, se puede reservar con soporte

Modo de soporte: estructura de soporte de aluminio personalizado

Capacidad: de acuerdo con las especificaciones del producto

Tiempo de procesamiento: proceso diferente, diferente tiempo de procesamiento

Potencia del generador de plasma: RF 13.56 MHz, ajustable de 0 a 1000 W

Sistema de Bomba de Vacío: Bomba de Vacío Mecánica

Sistema de medición de vacío: Indicador de resistencia Pirani

Vacío de trabajo: 20-80Pa

Presión límite de la bomba de vacío: 5.0 × 10-1Pa

Tiempo de vacío: ≤120S

Tiempo de ruptura de vacío: 30S

Método de suministro de gas: tipo de válvula de solenoide

Rango de ajuste del caudalímetro: 0-500Sccm (ml / min)

Sistema de monitoreo de la presión del aire de entrada: 2 tablas de descompresión de presión de aire, 2 medidores de flujo másico de gas

Método de operación: tomar y colocar manualmente la pieza de trabajo, iniciar el control automático con una tecla

Uso de empaques a nivel de obleas:

diferentes combinaciones para la fabricación de procesos diferentes, se puede utilizar para dispositivos, piezas de metal, cerámica, vidrio y otras superficies de la pieza de limpieza, modificación, etc.


Empresa de envasado a nivel de obleas

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Paquete de embalaje de nivel de oblea

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