Generador de plasma de baja presión
Mar 30, 2018

Un dispositivo de descarga de gas a baja presión generalmente consta de tres partes: una fuente de alimentación, una cámara de descarga, un sistema de vacío y un sistema de suministro de gas (o gas de reacción) para la producción de plasma. Generalmente existen cuatro categorías: dispositivos de descarga estática (figura 5), dispositivos de descarga de corona de alto voltaje (figura 5 B), dispositivos de descarga de alta frecuencia (RF) (3 tipos, figura 5c) y dispositivos de descarga de microondas (Fig. 5 d). La superficie sólida tratada o la superficie del sustrato que requiere la capa de película polimérica se coloca en el entorno de descarga y se trata con plasma. Debido a que el plasma de baja presión es un plasma frío, cuando la presión del aire es de 133 ~ 13,3, la temperatura del electrón es de hasta 10000 y la temperatura del gas es de solo 300, que no quema el sustrato y tiene suficiente energía para la superficie tratamiento. Los generadores de plasma de baja presión son ampliamente utilizados en la polimerización por plasma, la preparación de películas, el grabado, la limpieza y otros procesos de tratamiento de superficies. Ejemplos de éxito tales como: en el proceso de fabricación de semiconductores, el uso de flúor, la corrosión seca del plasma de Lyon, el recubrimiento iónico sobre la superficie metálica de la formación de la película de nitruro de titanio. Desde los años 70, el plasma de baja presión se ha desarrollado rápidamente para el tratamiento de superficies y la modificación de sólidos no metálicos como vidrio, textiles, plásticos, etc.


Noticias relacionadas

Copyright © Kunshan Plaux Electronics Technology Co., Ltd todos los derechos reservados.